RRAM的三維集成結構體系主要有兩種:一種是多層堆疊交叉陣列結構,即把二維交叉陣列結構重復制備,堆積多層形成,如圖(a)所示;另一種方法是垂直交叉陣列結構,把傳統的水平交叉陣列結構轉90°,并在水平方向重復延伸形成垂直結構三維陣列,如圖(b)所示。多層堆疊結構是一種可以從二維平面結構轉移... (來源:電子百科頻道)
三維集成結構 2016-8-5 09:55