由香港大學(xué)(港大)工程學(xué)院電機(jī)及電子工程學(xué)系的褚智勤副教授與機(jī)械工程系林原教授,聯(lián)合南方科技大學(xué)深港微電子系李攜曦助理教授及北京大學(xué)東莞光電研究院王琦教授的研究團(tuán)隊(duì),成功開(kāi)發(fā)突破性的方法,可大量制造超薄、超柔韌的鉆石(金剛石)膜。 這些薄膜與現(xiàn)有的半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容,原則上可以制成... (來(lái)源:新聞?lì)l道)
金剛石膜 2024-12-24 09:10