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中微公司發(fā)布雙反應(yīng)臺電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備Primo Twin－Star（R）

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中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）在SEMICON China 2021期間正式發(fā)布了新一代電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備Primo Twin-Star®，用于IC器件前道和后道制程導(dǎo)電/電介質(zhì)膜的刻蝕應(yīng)用。中微公司雙反應(yīng)臺電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備Primo Twin-Sta... （來源：新品頻道）

中微公司 2021-3-16 13:22

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