中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”,上交所股票代碼:688012)在SEMICON China 2021期間正式發(fā)布了新一代電感耦合等離子體(ICP)刻蝕設(shè)備Primo Twin-Star®,用于IC器件前道和后道制程導(dǎo)電/電介質(zhì)膜的刻蝕應(yīng)用。 中微公司雙反應(yīng)臺電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備Primo Twin-Sta... (來源:新品頻道)
中微公司 2021-3-16 13:22