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MEMS 的全稱是微型電子機械系統，利用傳統的半導體工藝和材料，集微傳感器、微執行器、微機械機構、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。具有小體積、低成本、集成化等特點。 MEMS傳感器的主要種類MEMS傳感器種類繁多，主要的MEMS傳感器包括運動傳... （來源：技術文章頻道）
MEMS運動傳感器微機械機構 2021-2-4 09:24
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