MEMS 的全稱是微型電子機械系統(tǒng)，利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械機構(gòu)、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。具有小體積、低成本、集成化等特點。 MEMS傳感器的主要種類MEMS傳感器種類繁多，主要的MEMS傳感器包括運動傳... （來源：技術(shù)文章頻道）
MEMS運動傳感器微機械機構(gòu) 2021-2-4 09:24
搜索到1條【美新半導(dǎo)體】相關(guān)的技術(shù)文章。
查看關(guān)鍵詞的分類頻道
搜索到1條【美新半導(dǎo)體】相關(guān)的技術(shù)文章。
查看關(guān)鍵詞的分類頻道
