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FTIR

FTIR 傅氏轉(zhuǎn)換紅外線光譜分析儀　　(Fourier Transform infrared spectroscopy) 　　用于半導(dǎo)體制造業(yè)。FTIR乃利用紅外線光譜經(jīng)傅利葉轉(zhuǎn)換進而分析雜質(zhì)濃度的光譜分析儀器。　　目的：•已發(fā)展成熟，可Routine應(yīng)用者，計有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量預(yù)測。 B.芯片之含氧、含碳量預(yù)測。 C.磊晶... （來源：電子百科頻道）

FTIR 2012-2-24 17:35

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