FTIR 傅氏轉換紅外線光譜分析儀 (Fourier Transform infrared spectroscopy) 用于半導體制造業。FTIR乃利用紅外線光譜經傅利葉轉換進而分析雜質濃度的光譜分析儀器。 目的:•已發展成熟,可Routine應用者,計 有: A.BPSG/PSG之含磷、含硼量預測。 B.芯片之含氧、含碳量預測。 C.磊晶... (來源:電子百科頻道)
FTIR 2012-2-24 17:35