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日前,上海芯上微裝科技股份有限公司(簡稱“芯上微裝”)宣布,其第500臺步進光刻機成功交付,標志著我國高端半導體裝備產業邁入新階段。 據了解,先進封裝光刻機是芯上微裝的核心產品,具備高分辨率、高套刻精度、超大曝光視場等特點,還擁有強大的翹曲和厚膠處理能力,可根據客戶具體工... (來源:新聞頻道)
上海芯上微光刻機 2025-8-11 11:03
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