在半導體制造邁向3nm及以下更精密制程的時代,對于潔凈室環境的要求已達到前所未有的高度。酸性氣體、堿性氣體、揮發性有機物(VOCs)等空氣分子污染物(Airborne Molecular Contaminants, AMC)對生產設備與晶圓良率的潛在威脅日益凸顯,使其監測與管控成為保障高端芯片制造的核心環節。 長期以來,... (來源:新聞頻道)
AMC中用科技 2025-9-4 11:22