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在半導(dǎo)體制造邁向3nm及以下更精密制程的時代,對于潔凈室環(huán)境的要求已達(dá)到前所未有的高度。酸性氣體、堿性氣體、揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)等空氣分子污染物(Airborne Molecular Contaminants, AMC)對生產(chǎn)設(shè)備與晶圓良率的潛在威脅日益凸顯,使其監(jiān)測與管控成為保障高端芯片制造的核心環(huán)節(jié)。 長期以來,... (來源:新聞頻道)
AMC中用科技 2025-9-4 11:22
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