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半導體線寬檢測的首個ISO國際標準發布

近日，國際標準化組織（ISO）正式發布了微束分析領域中的一項國際標準：“基于測長掃描電鏡的關鍵尺寸評測方法”（Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)），該標準由中國科學技術大學物理學院和微尺度物質科學國家... （來源：新聞頻道）

半導體線寬檢測 2020-3-16 09:56

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