MEMS(Micro Electro mechanical System)即微機電系統,是指采用微機電加工技術按照功能要求在微米量級的芯片上集成機械零件、電子組件和傳感器執行組件等而形成的一個獨立智能系統。由于單晶石英材料具有壓電效應,且具有優良的溫度、機械性能、高品質因素等特性,采用單晶石英制作的石英 MEMS 加速度... (來源:技術文章頻道)
MEMS傳感器敏感芯片 2020-6-19 17:26
MEMS傳感器微機電加工技術芯片 2020-6-18 16:16