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近日，被譽(yù)為“納米神筆”的國產(chǎn)電子束光刻機(jī)在杭州余杭正式亮相。這臺設(shè)備由浙大余杭量子研究院自主研發(fā)，型號為“羲之”，已完成研發(fā)并進(jìn)入應(yīng)用測試階段，標(biāo)志著我國在高端芯片研發(fā)核心裝備領(lǐng)域取得重大突破。 據(jù)介紹，作為基地首批簽約孵化項(xiàng)目，“羲之&... （來源：新聞?lì)l道）
電子束光刻機(jī) 2025-8-14 11:45
近日，廣東省發(fā)展改革委、廣東省科技廳、廣東省工業(yè)和信息化廳正式發(fā)布《廣東省培育半導(dǎo)體及集成電路戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群行動(dòng)計(jì)劃(2021-2025年)》。其中在重點(diǎn)工程中特別提到：支持廣東省大灣區(qū)集成電路與系統(tǒng)應(yīng)用研究院建設(shè),加快FDSOI(全耗盡型絕緣層上硅)核心技術(shù)攻關(guān)。 該《行動(dòng)計(jì)劃》堅(jiān)持問題導(dǎo)... （來源：新聞?lì)l道）
集成電路 2020-10-10 10:42
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