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同時實(shí)現(xiàn)大視場與高解像力曝光佳能發(fā)布半導(dǎo)體光刻機(jī)新品

同時實(shí)現(xiàn)大視場與高解像力曝光佳能發(fā)布半導(dǎo)體光刻機(jī)新品

不僅能夠應(yīng)用于全畫幅CMOS傳感器等各種器件的制造還可應(yīng)用于逐漸興盛的XR器件制造領(lǐng)域佳能將于2023年3月13日發(fā)售面向前道工序的半導(dǎo)體光刻機(jī)新產(chǎn)品----i線※1步進(jìn)式光刻機(jī)“FPA-5550iX”，該產(chǎn)品能夠同時實(shí)現(xiàn)0.5μm（微米※2）高解像力與50×50mm大視場曝光。 FPA-5550iX 新產(chǎn)品“FPA-5550iX”能... （來源：新品頻道）

佳能半導(dǎo)體光刻機(jī)FPA－5550iX 2023-3-14 10:11

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