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KLA-Tencor高分辨率表面輪廓測量系統(tǒng) HRP-350

KLA-Tencor 發(fā)布高分辨率表面輪廓測量系統(tǒng) HRP-350，使測量能力擴展至 45 納米半導體器件。這個新設備配備半徑低至 20 納米的鉆石探針和低噪音平臺，從而提高了測量靈敏度，并使芯片生產(chǎn)商能夠監(jiān)控極其細微的橫向和縱向尺寸。除這些突破之外，該系統(tǒng)還擁有更高的掃描速度，因而能在多種關(guān)鍵性晶體管和互... （來源：新品頻道）

表面輪廓測量系統(tǒng) HRP-350 2007-7-13 11:13

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