以SiO2為柵介質(zhì)時(shí),叫MOS器件,這是最常使用的器件形式。歷史上也出現(xiàn)過(guò)以Al2O3為柵介質(zhì)的MAS器件和以Si3N4為柵介質(zhì)的MNS器件,以及以SiO2+Si3N4為柵介質(zhì)的MNOS器件,統(tǒng)稱為金屬-絕緣柵-半導(dǎo)體器件--MIS器件。 以Al為柵電極時(shí),稱鋁柵器件。以重?fù)诫s多晶硅(Poly-Si)為柵電極時(shí),稱硅柵器件。它是當(dāng)前MO... (來(lái)源:電子百科頻道)
MIS器件 2010-11-29 15:14