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KLA-Tencor Corporation推出兩款先進(jìn)的量測(cè)系統(tǒng),可支持 16 納米及以下尺寸集成電路器件的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn):Archer™ 500LCM 和 SpectraFilm™ LD10。Archer 500LCM 套刻測(cè)量系統(tǒng)在提升成品率的所有階段提供了準(zhǔn)確的套刻誤差反饋,可幫助芯片制造商解決新的圖型套刻問(wèn)題,例如多層光刻和隔離層掩膜... (來(lái)源:新品頻道)
KLA-Tencor CorporationArcher 500LCMSpectraFilm LD10 2015-3-5 11:16
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