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應(yīng)用開(kāi)發(fā)

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使用半大馬士革工藝流程研究后段器件集成的工藝

作者：半導(dǎo)體工藝與整合 (SPI) 資深工程師 Assawer Soussou 博士1. 介紹隨著技術(shù)推進(jìn)到1.5nm及更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)，后段器件集成將會(huì)遇到新的難題，比如需要降低金屬間距和支持新的工藝流程。為了強(qiáng)化電阻電容性能、減小邊緣定位誤差，并實(shí)現(xiàn)具有挑戰(zhàn)性的制造工藝，需要進(jìn)行工藝調(diào)整。為應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)，我們嘗試...
半大馬士革工藝流程后段器件集成 2023-10-20

功率MOSFET基本結(jié)構(gòu)：平面結(jié)構(gòu)

作者：劉松功率MOSFET即金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管（Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor）有三個(gè)管腳，分別為柵極（Gate），漏極（Drain）和源極（Source）。功率MOSFET為電壓型控制器件，驅(qū)動(dòng)電路簡(jiǎn)單，驅(qū)動(dòng)的功率小，而且開(kāi)關(guān)速度快，具有高的工作頻率。常用的MOSFET的結(jié)構(gòu)有：橫...
功率MOSFET基本結(jié)構(gòu) 2023-06-09

引入空氣間隙以減少前道工序中的寄生電容

作者：泛林集團(tuán)半導(dǎo)體工藝與整合工程師 Sumant Sarkar減少柵極金屬和晶體管的源極/漏極接觸之間的寄生電容可以減少器件的開(kāi)關(guān)延遲。減少寄生電容的方法之一是設(shè)法降低柵極和源極/漏極之間材料層的有效介電常數(shù)，這可以通過(guò)在該位置的介電材料中引入空氣間隙來(lái)實(shí)現(xiàn)。這種類型的方式過(guò)去已經(jīng)用于后道工序...
空氣間隙寄生電容 2023-03-24

使用虛擬實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)預(yù)測(cè)先進(jìn)FinFET技術(shù)的工藝窗口和器件性能

作者：Coventor（泛林集團(tuán)旗下公司）半導(dǎo)體工藝與整合 (SPI) 高級(jí)工程師王青鵬博士負(fù)載效應(yīng) (loading) 的控制對(duì)良率和器件性能有重大影響，并且它會(huì)隨著 FinFET（鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管）器件工藝的持續(xù)微縮變得越來(lái)越重要[1-2]。當(dāng)晶圓的局部刻蝕速率取決于現(xiàn)有特征尺寸和局部圖形密度時(shí)，就會(huì)發(fā)生負(fù)載效應(yīng)...
FinFET技術(shù)虛擬實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì) 2023-01-13

巔峰對(duì)決：三大頂流半導(dǎo)體廠商高端工藝逐鹿，你更看好誰(shuí)？

圖源：H_Ko/AdobeStock 集成電路的成功和普及在很大程度上取決于IC制造商是否有能力繼續(xù)以相對(duì)低的功耗提供更高的性能。隨著主流CMOS工藝達(dá)到理論、實(shí)踐和經(jīng)濟(jì)極限，降低IC成本不可避免地與不斷增長(zhǎng)的技術(shù)和晶圓廠制造規(guī)程緊密相連。在代工行業(yè)，采用先進(jìn)的工藝節(jié)點(diǎn)更能帶來(lái)明顯的成本競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。2020年...
GAA芯片技術(shù)CMOS工藝 2022-11-28

汽車電子后視鏡的大腦

作者：孫魯毅如果說(shuō)攝像頭是汽車電子后視鏡的眼睛，那么后面的 ISP/DSP 等圖像處理和視覺(jué)感知單元，就是電子后視鏡的大腦。業(yè)界有一種趨勢(shì)，傳統(tǒng)的外后視鏡即將被電子后視鏡取代下，這一過(guò)程也許在未來(lái)的 2~3 年內(nèi)將逐漸發(fā)生，我們或?qū)⒂行乙?jiàn)證這一過(guò)程，并為之做出自己的努力。1. 物理外后視鏡的作用和...
CV22AQ電子后視鏡圖像處理 2022-10-25

模擬計(jì)算可以卷土重來(lái)嗎？

我們生活在一個(gè)以數(shù)字處理為主的模擬世界中，但這可能會(huì)改變。領(lǐng)域特異性以及對(duì)更高水平優(yōu)化的渴望可能會(huì)為模擬計(jì)算提供一些顯著優(yōu)勢(shì)——以及卷土重來(lái)的可能。數(shù)字縮放和靈活性的優(yōu)勢(shì)將模擬和數(shù)字之間設(shè)立了明顯的分割線。模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換通常在傳感器和執(zhí)行器中或非常靠近傳感器和執(zhí)行器完成。而通信一直...
模擬計(jì)算傳感器 2022-06-15

如何抑制GAA寄生溝道？微電子所給出方案

作為GAA制造流程的一環(huán)，子鰭可能引發(fā)寄生溝道效應(yīng)等副作用，導(dǎo)致GAA晶體管的器件性能下降。為此，中科院微電子所先導(dǎo)工藝研發(fā)中心團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)了縮窄子鰭的工藝改進(jìn)方案，可有效改善寄生溝道帶來(lái)的電特性衰減，有望應(yīng)用于亞3nm先進(jìn)制造工藝節(jié)點(diǎn)。研究背景與傳統(tǒng)平面器件相比，3D FinFET器件具...
GAA晶體管GaA 2021-12-08

英特爾加速制程工藝和封裝技術(shù)創(chuàng)新

英特爾加速制程工藝和封裝技術(shù)創(chuàng)新,加強(qiáng)每年創(chuàng)新的節(jié)奏，推動(dòng)從芯片到系統(tǒng)全面領(lǐng)先 2021年7月27日，英特爾CEO帕特•基辛格在“英特爾加速創(chuàng)新：制程工藝和封裝技術(shù)線上發(fā)布會(huì)”上發(fā)表演講。在這次線上發(fā)布會(huì)中，英特爾提出了未來(lái)制程工藝和封裝技術(shù)路線圖。（圖片來(lái)源：英特爾）新聞重點(diǎn)•...
制程工藝封裝技術(shù)英特爾 2021-07-29

紫外線

紫外線是電磁波譜中波長(zhǎng)從10nm到400nm輻射的總稱，不能引起人們的視覺(jué)。1801年德國(guó)物理學(xué)家里特發(fā)現(xiàn)在日光光譜的紫端外側(cè)一段能夠使含有溴化銀的照相底片感光，因而發(fā)現(xiàn)了紫外線的存在。
2011-12-14

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