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日前，上海芯上微裝科技股份有限公司（簡稱“芯上微裝”）宣布，其第500臺步進光刻機成功交付，標志著我國高端半導體裝備產業邁入新階段。 據了解，先進封裝光刻機是芯上微裝的核心產品，具備高分辨率、高套刻精度、超大曝光視場等特點，還擁有強大的翹曲和厚膠處理能力，可根據客戶具體工... （來源：新聞頻道）
上海芯上微光刻機 2025-8-11 11:03
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