MEMS(Micro Electro mechanical System)即微機(jī)電系統(tǒng),是指采用微機(jī)電加工技術(shù)按照功能要求在微米量級的芯片上集成機(jī)械零件、電子組件和傳感器執(zhí)行組件等而形成的一個獨(dú)立智能系統(tǒng)。由于單晶石英材料具有壓電效應(yīng),且具有優(yōu)良的溫度、機(jī)械性能、高品質(zhì)因素等特性,采用單晶石英制作的石英 MEMS 加速度... (來源:技術(shù)文章頻道)
MEMS傳感器敏感芯片 2020-6-19 17:26
MEMS傳感器微機(jī)電加工技術(shù)芯片 2020-6-18 16:16