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三星電子開(kāi)發(fā)出透光率達(dá) 88% 的 EUV 薄膜

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光罩護(hù)膜 / 薄膜是極紫外 (EUV) 光刻工藝中的關(guān)鍵部件，指的是在光罩上展開(kāi)的一層薄膜，然后用機(jī)器在上面繪制要在晶圓上壓印的電路，旨在使光罩免受空氣中微塵或揮發(fā)性氣體的污染并減少光掩模損壞，該領(lǐng)域目前仍由荷蘭 ASML、日本三井化學(xué)主導(dǎo)，而韓國(guó) S&S Tech 等后來(lái)居上者也是主要供應(yīng)商之一。韓... （來(lái)源：新聞?lì)l道）

三星 EUV 薄膜 2023-1-16 15:12

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