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Picarro宣布用于半導(dǎo)體晶圓廠(chǎng)的氣體分子污染監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

• -高通量系統(tǒng)以萬(wàn)億分之一的水平在線(xiàn)檢測(cè)關(guān)鍵的AMC Picarro宣布推出經(jīng)我們完全優(yōu)化的AMC監(jiān)控系統(tǒng)——Picarro SAM（取樣Sample、分析Analyze和監(jiān)測(cè)Monitor）。該系統(tǒng)由Picarro在業(yè)界領(lǐng)先的基于CRDS的傳感器組成，該傳感器已集成到最新的采樣系統(tǒng)中。SAM單元可提供高通量采樣，而不會(huì)影響傳感器的性能。 ...
• PicarroAMC監(jiān)控系統(tǒng)Picarro SAM系統(tǒng) 2020-03-26