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第8講：SiC外延生長技術(shù)

第8講：SiC外延生長技術(shù)

SiC外延生長技術(shù)是SiC功率器件制備的核心技術(shù)之一，外延質(zhì)量直接影響SiC器件的性能。目前應(yīng)用較多的SiC外延生長方法是化學(xué)氣相沉積（CVD），本文簡要介紹其生產(chǎn)過程及注意事項。SiC有多種穩(wěn)定的晶體多型（polytype）。因此，為了使獲得的外延生長層能夠繼承SiC襯底的特定晶體多型，需要將襯底的原子三維... （來源：技術(shù)文章頻道）

SiC器件 SiC外延生長技術(shù) 2024-11-7 10:41

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