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NI PXI微機(jī)電 (MEMS)測(cè)試系統(tǒng)

描述:NI提供的各種產(chǎn)品,可在驗(yàn)證、特性化和生產(chǎn)環(huán)境中設(shè)計(jì)半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)。PXI平臺(tái)提供的緊湊零占地(zero-footprint)測(cè)試系統(tǒng),結(jié)合模塊化儀器與高級(jí)定時(shí)和同步技術(shù),可實(shí)現(xiàn)直流到6.6 GHz的多項(xiàng)測(cè)量。 NI PXI微機(jī)電(MEMS)測(cè)試系統(tǒng)包含的重要儀器,能夠?qū)EMS加速計(jì)、陀螺儀、麥克風(fēng)進(jìn)行完整的特征記述。系統(tǒng)中,源測(cè)量單元(SMU)可實(shí)現(xiàn)常用DC參數(shù)測(cè)量(開(kāi)路/短路、泄漏測(cè)試),高精度數(shù)據(jù)采集模塊可在廣闊的動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)精確的聲音與振動(dòng)測(cè)量,高速數(shù)字I/O可借由常用通信協(xié)議(SPI、I2C、JTAG)連接MEMS設(shè)備,開(kāi)關(guān)模塊能夠?qū)C儀器路由至多個(gè)測(cè)試點(diǎn)。 PXI MEMS測(cè)試系統(tǒng)解決方案向用戶(hù)提供所需儀器,在MEMS設(shè)備上進(jìn)行開(kāi)路/短路、待機(jī)電流、參考IDD、正/負(fù)連續(xù)性測(cè)試、泄漏電流、輸入和輸出邏輯閾值、動(dòng)態(tài)測(cè)量等常見(jiàn)測(cè)量。結(jié)合NI LabVIEW軟件的這個(gè)方法可快速自定義用戶(hù)系統(tǒng),繼而引入特定測(cè)量幫助用戶(hù)對(duì)MEMS設(shè)備進(jìn)行特征記述。借助NI系統(tǒng)工程師編寫(xiě)的實(shí)例程序快速啟動(dòng)并運(yùn)行,實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)特征記述中至關(guān)重要的常見(jiàn)測(cè)量。
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