與泛林一同探索先進節點上線邊緣粗糙度控制的重要性 作者:Coventor(泛林集團旗下公司)半導體工藝與整合團隊成員Yu De Chen介紹由后段制程(BEOL)金屬線寄生電阻電容(RC)造成的延遲已成為限制先進節點芯片性能的主要因素[1]。減小金屬線間距需要更窄的線關鍵尺寸(CD)和線間隔,這會導致更高的金屬線... (來源:技術文章頻道)
線邊緣粗糙度(LER)先進節點芯片 2023-6-12 14:49
一些晶圓代工廠仍在基于下一代全能柵極晶體管開發新工藝,包括更先進的高遷移率版本,但是將這些技術投入生產將是困難且昂貴的。英特爾、三星、臺積電和其他公司正在為從今天的FinFET晶體管向3nm和2nm節點的新型全柵場效應晶體管(GAA FET)過渡奠定基礎,這種過渡將從明年或2023年開始。 GAA FET... (來源:技術文章頻道)
GAAFET柵極晶體管 2021-2-22 10:51