海洋光學(Ocean Optics)長期以來一直為半導體工藝設備供應商的新材料研究提供強大支持,同時協助用戶克服等離子刻蝕、沉積、涂層和清潔等方面的困難和挑戰。海洋光學的光譜儀,基于光學發射光譜技術,被廣泛應用于等離子體監測,并在刻蝕終點檢測方面表現出色。 實驗配置:實驗采用光學發射光譜(... (來源:技術文章頻道)
光學發射光譜 海洋光譜儀 2023-10-19 11:00
為半導體、保健和制藥行業提供分子傳感及診斷產品的領先制造商Atonarp今天宣布推出Aston,這是一個創新型原位半導體計量平臺,帶有集成等離子體電離源。 Aston是半導體生產計量領域中的一次重大演變,實現了原位分子過程控制,使現有工廠運行更高效,并可推動產出提升。Aston專為半導體生產而... (來源:新品頻道)
AtonarpAston 2021-7-16 11:09