海洋光學(Ocean Optics)長期以來一直為半導體工藝設備供應商的新材料研究提供強大支持,同時協助用戶克服等離子刻蝕、沉積、涂層和清潔等方面的困難和挑戰。海洋光學的光譜儀,基于光學發射光譜技術,被廣泛應用于等離子體監測,并在刻蝕終點檢測方面表現出色。 實驗配置:實驗采用光學發射光譜(... (來源:技術文章頻道)
光學發射光譜 海洋光譜儀 2023-10-19 11:00