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海洋光學（Ocean Optics）長期以來一直為半導體工藝設備供應商的新材料研究提供強大支持，同時協助用戶克服等離子刻蝕、沉積、涂層和清潔等方面的困難和挑戰。海洋光學的光譜儀，基于光學發射光譜技術，被廣泛應用于等離子體監測，并在刻蝕終點檢測方面表現出色。 實驗配置：實驗采用光學發射光譜（... （來源：技術文章頻道）
光學發射光譜 海洋光譜儀 2023-10-19 11:00
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