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KLA-Tencor公司（納斯達(dá)克股票代碼：KLAC）今天針對10納米以下（sub-10nm）集成電路（IC）器件的開發(fā)和批量生產(chǎn)推出四款創(chuàng)新的量測系統(tǒng)：Archer™600疊對量測系統(tǒng)，WaferSight™PWG2圖案晶片幾何特征測量系統(tǒng)，SpectraShape™ 10K光學(xué)關(guān)鍵尺寸（CD）量測系統(tǒng)和SensArray®HighTemp 4... （來源：新品頻道）

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