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Gigaphoton為美國(guó)廠商的微孔加工提供準(zhǔn)分子激光器

Gigaphoton為美國(guó)廠商的微孔加工提供準(zhǔn)分子激光器

半導(dǎo)體光刻用光源制造商Gigaphoton Inc.（總部：櫪木縣小山市；總裁兼首席執(zhí)行官：Tatsuo Enami）宣布，“G300K”微孔加工光源已交付給日本一家專門(mén)從事后端設(shè)備制造的設(shè)備制造商，該集成系統(tǒng)已成功安裝在美國(guó)一家公司的工廠內(nèi)。用于超精細(xì)刻蝕加工的KrF準(zhǔn)分子激光器G300K（照片：美國(guó)商業(yè)資訊） Gi... （來(lái)源：新聞?lì)l道）

Gigaphoton 分子激光器 G300K 2024-11-12 10:58

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