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在物理氣相沉積(PVD)和電離物理氣相沉積(IPVD)領域,精確監(jiān)測沉積通量和電離分數(shù)對于優(yōu)化工藝參數(shù)和涂層質量至關重要。瑞典Ionautics公司憑借其lonMeter為這一挑戰(zhàn)提供了創(chuàng)新的解決方案。lonMeter基于成熟的石英晶體微天平(QCM)技術,不僅實現(xiàn)了實時監(jiān)測,還通過一系列獨特設計,提升了電離分數(shù)監(jiān)... (來源:新聞頻道)
Ionautics lonMeterPVD IPVD 2024-12-26 15:53
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