在物理氣相沉積(PVD)和電離物理氣相沉積(IPVD)領(lǐng)域,精確監(jiān)測沉積通量和電離分?jǐn)?shù)對于優(yōu)化工藝參數(shù)和涂層質(zhì)量至關(guān)重要。瑞典Ionautics公司憑借其lonMeter為這一挑戰(zhàn)提供了創(chuàng)新的解決方案。lonMeter基于成熟的石英晶體微天平(QCM)技術(shù),不僅實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)監(jiān)測,還通過一系列獨(dú)特設(shè)計(jì),提升了電離分?jǐn)?shù)監(jiān)... (來源:新聞?lì)l道)
Ionautics lonMeterPVD IPVD 2024-12-26 15:53