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瑞典Ionautics lonMeter：精準(zhǔn)監(jiān)測電離分?jǐn)?shù)與沉積通量，助力PVD/IPVD工藝與涂層質(zhì)量雙重提升

在物理氣相沉積（PVD）和電離物理氣相沉積（IPVD）領(lǐng)域，精確監(jiān)測沉積通量和電離分?jǐn)?shù)對于優(yōu)化工藝參數(shù)和涂層質(zhì)量至關(guān)重要。瑞典Ionautics公司憑借其lonMeter為這一挑戰(zhàn)提供了創(chuàng)新的解決方案。lonMeter基于成熟的石英晶體微天平（QCM）技術(shù)，不僅實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)監(jiān)測，還通過一系列獨(dú)特設(shè)計(jì)，提升了電離分?jǐn)?shù)監(jiān)... （來源：新聞?lì)l道）

Ionautics lonMeterPVD IPVD 2024-12-26 15:53