虛擬半導體工藝建模是研究金屬線設計選擇更為經濟、快捷的方法 作者:泛林集團 Semiverse Solutions 部門半導體工藝與整合部高級經理 Daebin Yim• 由于阻擋層相對尺寸及電阻率增加問題,半導體行業正在尋找替代銅的金屬線材料。• 在較小尺寸中,釕的性能優于銅和鈷,因此是較有潛力的替... (來源:技術文章頻道)
工藝建模金屬線材料電阻電容 2024-4-8 15:17
與泛林一同探索先進節點上線邊緣粗糙度控制的重要性 作者:Coventor(泛林集團旗下公司)半導體工藝與整合團隊成員Yu De Chen介紹由后段制程(BEOL)金屬線寄生電阻電容(RC)造成的延遲已成為限制先進節點芯片性能的主要因素[1]。減小金屬線間距需要更窄的線關鍵尺寸(CD)和線間隔,這會導致更高的金屬線... (來源:技術文章頻道)
線邊緣粗糙度(LER)先進節點芯片 2023-6-12 14:49
溫度傳感器是溫度測量儀表的 部分,品種繁多,按測量方式可分為接觸式和非接觸式兩大類。接觸式溫度傳感器接觸式溫度傳感器的檢測部分與被測對象有良好的接觸,通過傳導或對流達到熱平衡,從而使溫度計的示值能直接表示被測對象的溫度。一般測量較高。在一定的測溫范圍內,溫度計也可測量物體內部... (來源:技術文章頻道)
溫度傳感器 紅外測溫傳感器 2021-6-17 09:46