海洋光學（Ocean Optics）長期以來一直為半導體工藝設(shè)備供應商的新材料研究提供強大支持，同時協(xié)助用戶克服等離子刻蝕、沉積、涂層和清潔等方面的困難和挑戰(zhàn)。海洋光學的光譜儀，基于光學發(fā)射光譜技術(shù)，被廣泛應用于等離子體監(jiān)測，并在刻蝕終點檢測方面表現(xiàn)出色。 實驗配置：實驗采用光學發(fā)射光譜（... （來源：技術(shù)文章頻道）
光學發(fā)射光譜 海洋光譜儀 2023-10-19 11:00
經(jīng)過一系列的并購與整合，世界領(lǐng)先的光學解決方案提供商、英國豪邁集團子公司海洋光學（Ocean Insight）于近日宣布已順利完成品牌重組，重新推出該公司標志性微型光纖光譜儀品牌“Ocean Optics”。此次品牌重組對海洋光學的發(fā)展至關(guān)重要。Ocean Insight將作為主品牌，并通過三個行業(yè)領(lǐng)先的子品牌Ocean ... （來源：新聞頻道）
Ocean Optics 海洋光學 Ocean Insight 2023-2-13 14:39
在半導體行業(yè)，晶圓是用光刻技術(shù)制造和操作的。蝕刻是這一過程的主要部分，在這一過程中，材料可以被分層到一個非常具體的厚度。當這些層在晶圓表面被蝕刻時，等離子體監(jiān)測被用來跟蹤晶圓層的蝕刻，并確定等離子體何時完全蝕刻了一個特定的層并到達下一個層。通過監(jiān)測等離子體在蝕刻過程中產(chǎn)生的發(fā)射線... （來源：技術(shù)文章頻道）
等離子體監(jiān)測 跟蹤芯片蝕刻 2022-9-21 15:03
根據(jù)檢測工藝所處的環(huán)節(jié)，IC集成電路檢測被分為設(shè)計驗證、前道量檢測和后道檢測。前道量測、檢測均會用到光學技術(shù)和電子束技術(shù)，其中光學量測通過分析光的反射、衍射光譜間接進行測量，其優(yōu)點是速度快、分辨率高、非破壞性。后道檢測工藝是芯片生產(chǎn)線的“質(zhì)檢員”，根據(jù)工藝在封裝環(huán)節(jié)的前后順序，后道... （來源：技術(shù)文章頻道）
半導體工藝監(jiān)測光譜應用 2022-9-16 10:12
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