海洋光學(Ocean Optics)長期以來一直為半導體工藝設(shè)備供應商的新材料研究提供強大支持,同時協(xié)助用戶克服等離子刻蝕、沉積、涂層和清潔等方面的困難和挑戰(zhàn)。海洋光學的光譜儀,基于光學發(fā)射光譜技術(shù),被廣泛應用于等離子體監(jiān)測,并在刻蝕終點檢測方面表現(xiàn)出色。 實驗配置:實驗采用光學發(fā)射光譜(... (來源:技術(shù)文章頻道)
光學發(fā)射光譜 海洋光譜儀 2023-10-19 11:00
經(jīng)過一系列的并購與整合,世界領(lǐng)先的光學解決方案提供商、英國豪邁集團子公司海洋光學(Ocean Insight)于近日宣布已順利完成品牌重組,重新推出該公司標志性微型光纖光譜儀品牌“Ocean Optics”。此次品牌重組對海洋光學的發(fā)展至關(guān)重要。Ocean Insight將作為主品牌,并通過三個行業(yè)領(lǐng)先的子品牌Ocean ... (來源:新聞頻道)
Ocean Optics 海洋光學 Ocean Insight 2023-2-13 14:39
在半導體行業(yè),晶圓是用光刻技術(shù)制造和操作的。蝕刻是這一過程的主要部分,在這一過程中,材料可以被分層到一個非常具體的厚度。當這些層在晶圓表面被蝕刻時,等離子體監(jiān)測被用來跟蹤晶圓層的蝕刻,并確定等離子體何時完全蝕刻了一個特定的層并到達下一個層。通過監(jiān)測等離子體在蝕刻過程中產(chǎn)生的發(fā)射線... (來源:技術(shù)文章頻道)
等離子體監(jiān)測 跟蹤芯片蝕刻 2022-9-21 15:03
根據(jù)檢測工藝所處的環(huán)節(jié),IC集成電路檢測被分為設(shè)計驗證、前道量檢測和后道檢測。前道量測、檢測均會用到光學技術(shù)和電子束技術(shù),其中光學量測通過分析光的反射、衍射光譜間接進行測量,其優(yōu)點是速度快、分辨率高、非破壞性。后道檢測工藝是芯片生產(chǎn)線的“質(zhì)檢員”,根據(jù)工藝在封裝環(huán)節(jié)的前后順序,后道... (來源:技術(shù)文章頻道)
半導體工藝監(jiān)測光譜應用 2022-9-16 10:12