在物理氣相沉積(PVD)和電離物理氣相沉積(IPVD)領域,精確監測沉積通量和電離分數對于優化工藝參數和涂層質量至關重要。瑞典Ionautics公司憑借其lonMeter為這一挑戰提供了創新的解決方案。lonMeter基于成熟的石英晶體微天平(QCM)技術,不僅實現了實時監測,還通過一系列獨特設計,提升了電離分數監... (來源:新聞頻道)
Ionautics lonMeterPVD IPVD 2024-12-26 15:53