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尼康日本當(dāng)?shù)貢r(shí)間本月 16 日宣布推出其首款面向半導(dǎo)體后道(后端)工藝的光刻系統(tǒng) DSP-100。這一光刻機(jī)是去年 10 月宣布的開發(fā)項(xiàng)目的成果,本月起接受訂單,預(yù)計(jì) 2026 財(cái)年內(nèi)上市。 DSP-100 專為大面積先進(jìn)封裝光刻而生,結(jié)合了半導(dǎo)體光刻機(jī)的高分辨率技術(shù)與 FPD(平板顯示)曝光設(shè)備的多鏡組技術(shù),... (來源:新品頻道)
尼康后端光刻機(jī) DSP 100FOPLP 2025-7-21 11:06
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