尼康日本當地時間本月 16 日宣布推出其首款面向半導體后道(后端)工藝的光刻系統 DSP-100。這一光刻機是去年 10 月宣布的開發項目的成果,本月起接受訂單,預計 2026 財年內上市。 DSP-100 專為大面積先進封裝光刻而生,結合了半導體光刻機的高分辨率技術與 FPD(平板顯示)曝光設備的多鏡組技術,... (來源:新品頻道)
尼康后端光刻機 DSP 100FOPLP 2025-7-21 11:06