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尼康推出其首款后端光刻機 DSP－100，支持 600×600 大尺寸 FOPLP 先進封裝

尼康推出其首款后端光刻機 DSP－100，支持 600×600 大尺寸 FOPLP 先進封裝

尼康日本當?shù)貢r間本月 16 日宣布推出其首款面向半導體后道（后端）工藝的光刻系統(tǒng) DSP-100。這一光刻機是去年 10 月宣布的開發(fā)項目的成果，本月起接受訂單，預計 2026 財年內(nèi)上市。 DSP-100 專為大面積先進封裝光刻而生，結(jié)合了半導體光刻機的高分辨率技術(shù)與 FPD（平板顯示）曝光設(shè)備的多鏡組技術(shù)，... （來源：新品頻道）

尼康后端光刻機 DSP 100FOPLP 2025-7-21 11:06

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