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半導(dǎo)體設(shè)備階段性波動(dòng)與長(zhǎng)期增長(zhǎng)并存，中國(guó)力量如何破局供應(yīng)鏈（一）

半導(dǎo)體設(shè)備階段性波動(dòng)與長(zhǎng)期增長(zhǎng)并存，中國(guó)力量如何破局供應(yīng)鏈（一）

由于人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)推動(dòng)芯片制程向更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)演進(jìn)，半導(dǎo)體制造企業(yè)為滿足技術(shù)迭代需求，加大設(shè)備投入，市場(chǎng)在技術(shù)驅(qū)動(dòng)下的長(zhǎng)期增長(zhǎng)韌性凸顯。圖：全球&中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模（2025、2026年中國(guó)市場(chǎng)規(guī)模按34%占比計(jì)算）（數(shù)據(jù)來(lái)源：SEMI）從全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)整體態(tài)... （來(lái)源：技術(shù)文章頻道）

半導(dǎo)體設(shè)備 2025-10-20 09:18

提高下一代DRAM器件的寄生電容性能

提高下一代DRAM器件的寄生電容性能

摘要隨著傳統(tǒng)DRAM器件的持續(xù)縮小，較小尺寸下寄生電容的增加可能會(huì)對(duì)器件性能產(chǎn)生負(fù)面影響，未來(lái)可能需要新的DRAM結(jié)構(gòu)來(lái)降低總電容，并使器件發(fā)揮出合格的性能。本研究比較了6F2蜂窩動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器 (DRAM) 器件與4F2垂直通道訪問(wèn)晶體管 (VCAT) DRAM結(jié)構(gòu)的寄生電容。結(jié)果表明，與6F2結(jié)構(gòu)相比，4F2結(jié)... （來(lái)源：技術(shù)文章頻道）

DRAM器件寄生電容泛林集團(tuán) 2024-11-14 10:50

降低半導(dǎo)體金屬線電阻的沉積和刻蝕技術(shù)

降低半導(dǎo)體金屬線電阻的沉積和刻蝕技術(shù)

摘要：使用SEMulator3D®可視性沉積和刻蝕功能研究金屬線制造工藝，實(shí)現(xiàn)電阻的大幅降低封面圖：正文：作者：泛林集團(tuán) Semiverse Solutions 部門軟件應(yīng)用工程師 Timothy Yang 博士01 介紹銅的電阻率由其晶體結(jié)構(gòu)、空隙體積、晶界和材料界面失配決定，并隨尺寸縮小而顯著提升。通常，銅線的制作流程是... （來(lái)源：技術(shù)文章頻道）

半導(dǎo)體金屬線電阻沉積和刻蝕技術(shù) 2024-8-15 15:49

通過(guò)工藝建模進(jìn)行后段制程金屬方案分析

通過(guò)工藝建模進(jìn)行后段制程金屬方案分析

虛擬半導(dǎo)體工藝建模是研究金屬線設(shè)計(jì)選擇更為經(jīng)濟(jì)、快捷的方法作者：泛林集團(tuán) Semiverse Solutions 部門半導(dǎo)體工藝與整合部高級(jí)經(jīng)理 Daebin Yim• 由于阻擋層相對(duì)尺寸及電阻率增加問(wèn)題，半導(dǎo)體行業(yè)正在尋找替代銅的金屬線材料。• 在較小尺寸中，釕的性能優(yōu)于銅和鈷，因此是較有潛力的替... （來(lái)源：技術(shù)文章頻道）

工藝建模金屬線材料電阻電容 2024-4-8 15:17

使用大面積分析提升半導(dǎo)體制造的良率

使用大面積分析提升半導(dǎo)體制造的良率

大面積分析技術(shù)可以預(yù)防、探測(cè)和修復(fù)熱點(diǎn)，從而將系統(tǒng)性、隨機(jī)性和參數(shù)缺陷數(shù)量降至最低，并最終提高良率作者：泛林集團(tuán)半導(dǎo)體工藝與整合高級(jí)經(jīng)理 Jacky Huang• 通過(guò)虛擬工藝開發(fā)工具加速半導(dǎo)體工藝熱點(diǎn)的識(shí)別• 這些技術(shù)可以節(jié)約芯片制造的成本、提升良率設(shè)計(jì)規(guī)則檢查 (DRC) 技術(shù)用于芯... （來(lái)源：技術(shù)文章頻道）

3D模型半導(dǎo)體制造 2D DRC 2024-3-4 16:02

使用SEMulator3D進(jìn)行虛擬工藝故障排除和研究

使用SEMulator3D進(jìn)行虛擬工藝故障排除和研究

SEMulator3D 工藝建模在開發(fā)早期識(shí)別工藝和設(shè)計(jì)問(wèn)題，減少了開發(fā)延遲、晶圓制造成本和上市時(shí)間作者：泛林集團(tuán) Semiverse Solutions 部門半導(dǎo)體工藝與整合部經(jīng)理 Brett Lowe現(xiàn)代半導(dǎo)體工藝極其復(fù)雜，包含成百上千個(gè)互相影響的獨(dú)立工藝步驟。在開發(fā)這些工藝步驟時(shí)，上游和下游的工藝模塊之間常出現(xiàn)不可預(yù)... （來(lái)源：技術(shù)文章頻道）

SEMulator3D 模型3D NAND虛擬工藝晶圓制造 2024-1-29 16:05

為刻蝕終點(diǎn)探測(cè)進(jìn)行原位測(cè)量

為刻蝕終點(diǎn)探測(cè)進(jìn)行原位測(cè)量

作者：泛林集團(tuán) Semiverse Solutions 部門軟件應(yīng)用工程師 Pradeep Nanja介紹半導(dǎo)體行業(yè)一直專注于使用先進(jìn)的刻蝕設(shè)備和技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)圖形的微縮與先進(jìn)技術(shù)的開發(fā)。隨著半導(dǎo)體器件尺寸縮減、工藝復(fù)雜程度提升，制造工藝中刻蝕工藝波動(dòng)的影響將變得明顯。刻蝕終點(diǎn)探測(cè)用于確定刻蝕工藝是否完成、且沒(méi)有剩余材... （來(lái)源：技術(shù)文章頻道）

泛林集團(tuán) 刻蝕終點(diǎn)探測(cè) SEMulator3D 2024-1-12 15:13

半大馬士革集成中引入空氣間隙結(jié)構(gòu)面臨的挑戰(zhàn)

半大馬士革集成中引入空氣間隙結(jié)構(gòu)面臨的挑戰(zhàn)

幫助imec確定使用半大馬士革集成和空氣間隙結(jié)構(gòu)進(jìn)行3nm后段集成的工藝假設(shè) 作者：泛林集團(tuán)Semiverse™ Solution部門半導(dǎo)體工藝與整合工程師Assawer Soussou博士• 隨著芯片制造商向3nm及以下節(jié)點(diǎn)邁進(jìn)，后段模塊處理迎來(lái)挑戰(zhàn)• 半大馬士革集成方案中引入空氣間隙結(jié)構(gòu)可能有助于縮短電... （來(lái)源：技術(shù)文章頻道）

半大馬士革集成空氣間隙結(jié)構(gòu) 2023-12-18 15:36

以工藝窗口建模探索路徑：使用虛擬制造評(píng)估先進(jìn)DRAM電容器圖形化的工藝窗口

以工藝窗口建模探索路徑：使用虛擬制造評(píng)估先進(jìn)DRAM電容器圖形化的工藝窗口

使用虛擬制造為先進(jìn) DRAM 結(jié)構(gòu)中的電容器形成工藝進(jìn)行工藝窗口評(píng)估和優(yōu)化作者：泛林集團(tuán) Semiverse Solutions 部門半導(dǎo)體工藝與整合高級(jí)工程師王青鵬博士持續(xù)的器件微縮導(dǎo)致特征尺寸變小，工藝步驟差異變大，工藝窗口也變得越來(lái)越窄[1]。半導(dǎo)體研發(fā)階段的關(guān)鍵任務(wù)之一就是尋找工藝窗口較大的優(yōu)... （來(lái)源：技術(shù)文章頻道）

工藝窗口DRAM電容器電容器 2023-11-20 10:55

以工藝窗口建模探索路徑：使用虛擬制造評(píng)估先進(jìn)DRAM電容器圖形化的工藝窗口

以工藝窗口建模探索路徑：使用虛擬制造評(píng)估先進(jìn)DRAM電容器圖形化的工藝窗口

作者：泛林集團(tuán) Semiverse Solutions 部門半導(dǎo)體工藝與整合高級(jí)工程師王青鵬博士持續(xù)的器件微縮導(dǎo)致特征尺寸變小，工藝步驟差異變大，工藝窗口也變得越來(lái)越窄[1]。半導(dǎo)體研發(fā)階段的關(guān)鍵任務(wù)之一就是尋找工藝窗口較大的優(yōu)秀集成方案。如果晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)不足，評(píng)估不同集成方案的工藝窗口會(huì)變得困難。為克... （來(lái)源：技術(shù)文章頻道）

DRAM 電容器泛林集團(tuán) 2023-11-17 10:42

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